Описание
Тетракис(диэтиламино)гафний, Hf[N(C₂H₅)₂]₄, отраслевое сокращение TDEAH, — амид гафния(IV). Светло-жёлтая жидкость с точкой замерзания −68 °C, горючая, реагирующая с водой. Базовый прекурсор для атомно-слоевого осаждения оксида гафния — high-k диэлектрика, заменившего диоксид кремния в подзатворном стеке современных транзисторов. Товарные квалификации: 99 %, 99,99 %, 99,999 %.
Основные атрибуты
- CAS №: 19824-55-6
- Химическая формула: C16H40HfN4
- Молекулярный вес: 467,01
- Точная масса: 468,27200
- Идентификатор DSSTox: DTXSID80173544
- PSA: 4
- XLogP3: 3,17000
- Внешний вид: светло-жёлтая жидкость
- Плотность: 1,249 г/мл при 25 °C (литературные данные)
- Температура плавления: −68 °C
- Температура кипения: 130 °C при 0,01 мм рт. ст.
- Температура вспышки: 50 °F (10 °C)
Химическая природа и назначение
Гафний(IV) связан с четырьмя диэтиламидными группами через азот. Связи Hf–N разрываются протонными и окислительными реагентами: вода, озон или кислородная плазма снимают лиганды и достраивают кислородную решётку. В цикле атомно-слоевого осаждения импульс прекурсора насыщает поверхность, продувка удаляет избыток, импульс окислителя формирует слой HfO₂; толщина задаётся числом циклов с точностью до долей нанометра. Широкий жидкий диапазон — от −68 °C до перегонки при 130 °C и 0,01 мм рт. ст. — упрощает эксплуатацию источника.
Область применения
- Прекурсор ALD и CVD оксида гафния HfO₂ — подзатворного диэлектрика транзисторов и конденсаторного диэлектрика в памяти
- Формирование гафниевых слоёв в структурах энергонезависимой памяти и сегнетоэлектрических приборах
- Осаждение нитрида гафния при работе с азотсодержащим реагентом
- Оптические и барьерные покрытия на основе гафния
- Источник гафния в металлоорганическом синтезе
Информация по технике безопасности
- Указания по опасности: H225 — легковоспламеняющаяся жидкость и пар; H261 — при контакте с водой выделяет легковоспламеняющиеся газы; H315 — раздражение кожи; H319 — серьёзное раздражение глаз; H335 — может вызвать раздражение дыхательных путей
- Меры предосторожности: P210, P231 + P232, P261, P305 + P351 + P338, P422
- Классификация СГС, сигнальное слово «Опасность»: H225 (100 %) — легковоспламеняющаяся жидкость
- Полный перечень предписаний по классификации СГС: P210, P223, P231 + P232, P233, P240, P241, P242, P243, P260, P261, P262, P264, P270, P271, P280, P284, P301 + P310, P301 + P330 + P331, P302 + P350, P302 + P352, P303 + P361 + P353, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P310, P312, P320, P321, P322, P330, P332 + P313, P335 + P334, P337 + P313, P361, P362, P363, P370 + P378, P402 + P404, P403 + P233, P403 + P235, P405, P501
- Основание классификации: агрегированные данные СГС от 65 компаний по 4 уведомлениям в реестр C и L ECHA; одно уведомление может относиться к нескольким компаниям
- Группа упаковки: II
- Категория опасности: 4.3
- Транспортные коды: ООН 3398, класс 4.3, группа упаковки II
- WGK Германия: 3
- Код класса опасности: 11-14-36/37/38
- Инструкции по технике безопасности: 16-26-36
- Метки: F, Xi
Хранение и обращение
Вспышка при 10 °C и класс 4.3 определяют режим: прохладный вентилируемый склад без источников зажигания, заземлённые тара и линии, полностью сухая система, содержимое под инертным газом согласно P422. Вода как средство тушения исключена — при контакте с влагой выделяются горючие газы. Предписания P335 + P334 и P370 + P378 задают порядок при аварии: сухое удаление вещества с кожи и тушение сухими средствами. Все операции — в перчаточном боксе или на герметичной линии, в перчатках и защитных очках.
Description
Tetrakis(diethylamino)hafnium, Hf[N(C₂H₅)₂]₄, industry abbreviation TDEAH, is hafnium(IV) amide. Light yellow liquid with a freezing point of −68 °C, flammable, reacts with water. The basic precursor for atomic layer deposition of hafnium oxide is a high-k dielectric that has replaced silicon dioxide in the gate stack of modern transistors. Product qualifications: 99%, 99.99%, 99.999%.
Basic Attributes
- CAS No.: 19824-55-6
- Chemical formula: C16H40HfN4
- Molecular Weight: 467.01
- Exact weight: 468.27200
- DSSTox ID: DTXSID80173544
- PSA: 4
- XLogP3: 3.17000
- Appearance: light yellow liquid
- Density: 1.249 g/ml at 25 °C (literature data)
- Melting point: −68 °C
- Boiling point: 130 °C at 0.01 mm Hg. Art.
- Flash point: 50°F (10°C)
Chemical nature and purpose
Hafnium(IV) is bonded to four diethylamide groups via nitrogen. Hf–N bonds are broken by proton and oxidizing reagents: water, ozone or oxygen plasma remove the ligands and complete the oxygen lattice. In the atomic layer deposition cycle, a precursor pulse saturates the surface, purging removes excess, and an oxidizer pulse forms a layer of HfO₂; the thickness is set by the number of cycles with an accuracy of fractions of a nanometer. Wide liquid range - from −68 °C to distillation at 130 °C and 0.01 mmHg. Art. — simplifies the operation of the source.
Scope of application
- ALD and CVD precursor of hafnium oxide HfO₂ - gate dielectric of transistors and capacitor dielectric in memory
- Formation of hafnium layers in non-volatile memory structures and ferroelectric devices
- Precipitation of hafnium nitride when working with a nitrogen-containing reagent
- Optical and barrier coatings based on hafnium
- Source of hafnium in organometallic synthesis
Safety Information
- Hazard Statements: H225 - Flammable liquid and vapour; H261 - on contact with water releases flammable gases; H315 - skin irritation; H319 - serious eye irritation; H335 - may cause respiratory irritation
- Precautions: P210, P231 + P232, P261, P305 + P351 + P338, P422
- GHS classification, signal word "Hazard": H225 (100%) - flammable liquid
- Full list of prescriptions according to the GHS classification: P210, P223, P231 + P232, P233, P240, P241, P242, P243, P260, P261, P262, P264, P270, P271, P280, P284, P301 + P310, P301 + P330 + P331, P302 + P350, P302 + P352, P303 + P361 + P353, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P310, P312, P320, P321, P322, P330, P332 + P313, P335 + P334, P337 + P313, P361, P362, P363, P370 + P378, P402 + P404, P403 + P233, P403 + P235, P405, P501
- Basis of classification: aggregated GHS data from 65 companies for 4 notifications to the ECHA C and L register; one notification may apply to several companies
- Packing group: II
- Hazard category: 4.3
- Transport codes: UN 3398, class 4.3, packing group II
- WGK Germany: 3
- Hazard class code: 11-14-36/37/38
- Safety instructions: 16-26-36
- Tags: F, Xi
Storage and handling
Flash at 10 °C and class 4.3 define the mode: cool ventilated warehouse without ignition sources, earthed containers and lines, completely dry system, contents under inert gas according to P422. Water is excluded as an extinguishing agent - upon contact with moisture, flammable gases are released. Regulations P335 + P334 and P370 + P378 specify the procedure in the event of an accident: dry removal of the substance from the skin and extinguishing with dry agents. All operations are carried out in a glove box or on a sealed line, wearing gloves and safety glasses.
Почему мы
Доставка продукции в регионы
Русский Торговый Холдинг" осуществляет поставку промышленной химии и химического сырья во все города России и СНГ: Санкт-Петербург, Москву, Казань, Нижний Новгород, Пермь, Екатеринбург, Воронеж, Самару, Уфу, Челябинск, Омск, Новосибирск, Волгоград, Ростов-на-Дону, Красноярск, Республику Татарстан, Республику Башкортостан, Чувашскую Республику, Республику Мордовия, Республику Марий Эл.
Подробности уточняйте по телефону +7 831 282-10-90.
О компании
"Русский Торговый Холдинг" является ведущим поставщиком оптовых продаж химической промышленности и нефтепродуктов. Мы обеспечиваем прямые поставки продукции от ведущих заводов, предлагая широкий спектр продукции. TETRAKIS(DIETHYLAMINO)HAFNIUM от "Русский Торговый Холдинг" соответствует стандартам качества ГОСТ, ТУ, обеспечивая высокую степень чистоты и безопасности в соответствии с отраслевыми требованиями.
Наша компания специализируется не только на продаже продукции российских производителей, но и предоставляет доступ к продукции зарубежных партнеров. Это расширяет возможности выбора и обеспечивает доступ к продукции мирового стандарта.Кроме того, мы предлагаем услуги контрактного производства, что позволяет заказчикам получить индивидуальные химические решения, соответствующие их конкретным потребностям.
Вся продукция сопровождается полным пакетом документов, подтверждающих её качество и соответствие установленным требованиям. В комплект входят сертификаты производителя, паспорта, а также иные подтверждающие документы, содержащие информацию о составе и свойствах сырья. Это позволяет гарантировать соответствие продукции действующим стандартам, включая ГОСТ, ТУ и международные регламенты, и обеспечивает прозрачность при её использовании в различных отраслях промышленности.
Для перевозки поставляемых продуктов мы используем тару высокого качества и соответствующую спецтехнику: мешки, канистры, бочки, еврокубы, автоцистерны, ж/д цистерны. Доставка химической продукции осуществляется подходящими видами транспорта по ПФО и ЦФО.
Работаем со всеми известными зарубежными производителями. Берём на себя гарантии и ответственность за все внешнеэкономические связи. Наиболее востребованные страны, из которых импортируем продукты: Китай, Казахстан, Польша, Турция, Индия. Если необходимой страны производителя нет в списке, оставьте заявку. Наш отдел ВЭД организует связи с поставщиками из любых стран.
Доставка отгружаемой продукции осуществляется спецтранспортом с полным комплектом сопровождающей документации и необходимых разрешений.
Доставка по всей России удобным для клиента способом (тип тары, логистика). География поставок: от Белгорода до Хабаровска и от Санкт-Петербурга до Краснодара.
ООО "Русский Торговый Холдинг" — оптовая компания. Все сделки сопровождаются полным набором юридических документов. Работаем по ЭДО и классическому документообороту.
Виды оплаты, с которыми мы работаем:
- Предоплата (размер предоплаты обговаривается индивидуально с вашим менеджером и зависит от объёмов поставки, срока и логистических деталей).
- Оплата по факту отгрузки продукции.
- Отсрочка оплат для действующих клиентов.
|
Мешки по 25 кг. для сыпучих продуктов |
|
Пластиковые канистры 25 литров, 30 литров |
|
Пластиковые и металлические бочки 227 л. |
|
Еврокубы 1000 л. |
|
Автоцистерны различного объёма |
|
Железнодорожные цистерны стандартного объёма |
